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“虽然之前十年，我们一直在和Cymer合作，包括目前我们最新的TWINSCAN 1980Di，采用的光源也是Cymer的……国产仅用在非浸润式型号上。但自从EUV亚联成立后……我们的关系还是有点难处的。”
“特别是EUV光源，目前精光那边尚拿不出什么好方案来，而Cymer好歹提出了LPP方案，而且ASML的验证机型也证实了可行。当然, 根据荷兰的消息，LPP方案还是存在功率不足的问题……但好歹起了个头对吧？而反观我们这边……国内差一点，霓国人又心怀鬼胎……而老美……你又一直把警惕挂在嘴边……”
郑振川一直说，一直苦笑，最终长叹了一口气：“难呐！”
听到郑振川的感慨，李明柳也颇有些感同身受以跟着一叹。
反倒是苏远山, 脸上露出了一抹怪异。
——这二位，似乎都已经忘记了国产光刻机在十五年前是什么鬼样子了……如今二十年不到，宏芯就凭借着双工件台的领先和浸润式光刻, 一举成为了全球市场份额最大的光刻机制造商……
这要是放在后世，写成小说都没人信的。
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